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一種自組裝形成尺寸可控的硅納米晶薄膜的制備方法

932   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:32:51
本發(fā)明涉及一種自組裝形成尺寸可控的硅納米晶薄膜的制備方法,主要步驟如下:首先,鍍膜前預(yù)處理后利用Ar離子對(duì)Si靶和C靶進(jìn)行磁控共濺射,調(diào)整Si和C靶的濺射功率,在硅和玻璃基體上交替沉積多層結(jié)構(gòu)的非晶硅/碳薄膜;然后,在氮?dú)鈿夥罩蟹蛛A段退火,形成α-SiC/nc-Si多層結(jié)構(gòu)薄膜。此類薄膜形成的硅納米晶尺寸在2-10nm范圍內(nèi)可控,同時(shí)硅納米晶的密度亦可控,此尺寸范圍的硅納米晶的光學(xué)帶隙在2.7-1.8eV范圍內(nèi)可控改變。本發(fā)明超晶格結(jié)構(gòu)Si/C多層薄膜形成尺寸和密度可控的硅納米晶,進(jìn)而調(diào)整其吸收光譜范圍,并顯著提高所用材料光電轉(zhuǎn)換效率。此類薄膜有望大幅提高硅基光伏器件的光吸收范圍和光電轉(zhuǎn)換效率。
聲明:
“一種自組裝形成尺寸可控的硅納米晶薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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