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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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改善化學機械研磨終點檢測及檢測前道工藝的方法

902 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:35:58

本發(fā)明公開了一種改善化學機械研磨終點檢測及檢測前道工藝的方法,設定正確的檢知時間范圍,一旦檢知時間超過設定范圍,即時間小于設定的下限或大于等于設定的上限,機臺報警并停止研磨,進行檢測處理。本發(fā)明能夠實時檢測到產品的終點,及時發(fā)現(xiàn)前道非正常工藝以及機臺終點檢測硬件(設備)異常的問題,減少異常產品的產生。本發(fā)明不僅可以適用于利用光學原理的終點檢測方法,還可以適用于溫度變化原理,電流強度變化原理的終點檢測方法。

聲明：

“改善化學機械研磨終點檢測及檢測前道工藝的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)