本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測裝置,包括:裝置與化學(xué)機(jī)械拋光平臺配合使用,化學(xué)機(jī)械拋光平臺的拋光盤上設(shè)置有窗口,裝置包括:平面反射鏡;搭載平面反射鏡的轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸用于調(diào)整平面反射鏡的角度;光發(fā)射模塊,用于發(fā)出激光線,激光線經(jīng)由平面反射鏡通過窗口照射到拋光盤上的晶圓表面;光檢測模塊,用于接收經(jīng)由窗口接收晶圓的反射光線,以根據(jù)反射光線確定化學(xué)機(jī)械拋光工藝的終點(diǎn)。該實施例的化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測裝置通過轉(zhuǎn)軸可調(diào)節(jié)激光線射向化學(xué)機(jī)械拋光平臺的拋光盤上窗口的角度,由此,提高了該裝置的可調(diào)節(jié)性,容錯性,可適用于不同廠家的化學(xué)機(jī)械拋光平臺。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)