本實(shí)用新型公開了用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備噴嘴的流量檢測治具,包括基板,基板上設(shè)置有至少一個(gè)上下導(dǎo)通的檢測管道,檢測管道的側(cè)壁上設(shè)置有檢測其內(nèi)氣體流量的流量探測計(jì),檢測管道上端密封連接有供噴嘴放置的套管,套管的下端插入套管內(nèi)并通過密封組件與套管密封連接,每個(gè)套管正上方均設(shè)置有能沿其上下移動的測試頭,每個(gè)測試頭均與驅(qū)動組件連接,并在驅(qū)動組件作用下移動,測試頭分別通過對應(yīng)設(shè)置的氣管連通外部氣源,外部氣源通過測試頭朝向噴嘴內(nèi)提供檢測氣體。能對噴嘴內(nèi)噴神通道的最大流量進(jìn)行快速檢測。
聲明:
“用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備噴嘴的流量檢測治具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)