把懸浮液加到包括拋光墊和適合于旋轉(zhuǎn)的臺(tái)板的拋光臺(tái);使一部分懸浮液能夠填入拋光墊和晶片間的界面。連續(xù)地從懸浮液抽取氣體樣品;氣體樣品包括在拋光墊接觸中止層時(shí)產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。把氣體樣品輸入反應(yīng)產(chǎn)物探測(cè)器。確定懸浮液中的反應(yīng)產(chǎn)物開始檢測(cè)到的第一時(shí)間,由此建立第一參考點(diǎn)。確定懸浮液中檢測(cè)最大反應(yīng)物量的第二時(shí)間,由此建立第二參考點(diǎn)。處理第一和第二參考點(diǎn)獲得信號(hào),其中信號(hào)反映含反應(yīng)產(chǎn)物的薄層的去除均勻性。