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化學機械拋光過程中拋光界面的溫度檢測裝置

726 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:45:15

本實用新型提供了一種在不影響拋光工藝過程的前提下高精度地實時檢測拋光界面溫度的裝置，還提供了利用檢測到的溫度信號進行拋光終點判斷和拋光過程監(jiān)控的方法。該溫度檢測裝置由溫度傳感器、信號處理模塊、導電滑環(huán)、信號接收裝置、電源及連接各組件間的導線組成。其中，溫度傳感器的感溫區(qū)域直接與被拋光工件的背面接觸，傳感器輸出的弱信號經(jīng)過信號處理模塊處理后由導電滑環(huán)將其傳輸?shù)叫盘柦邮昭b置，再由信號接收裝置對信號進行采集、處理和顯示等操作。

聲明：

“化學機械拋光過程中拋光界面的溫度檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)