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在線檢測(cè)半導(dǎo)體級(jí)化學(xué)品中有機(jī)分子雜質(zhì)的自動(dòng)化系統(tǒng)

802   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:45:15
分析系統(tǒng)的實(shí)施例可包括初始多端口閥、至少一個(gè)中間多端口閥、另外的多端口閥、以及飛行時(shí)間質(zhì)譜儀(TOF?MS)。初始多端口閥可被配置為接收樣品。至少一個(gè)中間多端口閥可與初始多端口閥流體連接,并被配置為從初始多端口閥接收樣品。給定的中間多端口閥可具有與其相關(guān)聯(lián)的離子交換柱。給定的中間多端口閥可被選擇性地配置為以下之一,即引導(dǎo)樣品通過(guò)與其相關(guān)聯(lián)的離子交換柱(以物種形成模式)或繞過(guò)所述離子交換柱(以注入模式)。另外的多端口閥可與至少一個(gè)中間多端口閥流體連接并被配置為從其接收樣品。飛行時(shí)間質(zhì)譜儀(TOF?MS)可與所述另外的多端口閥流體連接。
聲明:
“在線檢測(cè)半導(dǎo)體級(jí)化學(xué)品中有機(jī)分子雜質(zhì)的自動(dòng)化系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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