本發(fā)明涉及脈沖激光沉積鍍膜領(lǐng)域,公開了一種在線測(cè)量PLD薄膜化學(xué)計(jì)量比及各成分質(zhì)量的方法。首先,在脈沖沉積鍍膜過程中,用激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)測(cè)量沉積的薄膜中各個(gè)成分化學(xué)計(jì)量比;然后,用石英晶體微天平(QCM)測(cè)量薄膜總沉積量;最后,將LIBS的結(jié)果和QCM的結(jié)果相結(jié)合,得到薄膜中各成分的質(zhì)量。本發(fā)明基于PLD技術(shù)、LIBS技術(shù)、QCM測(cè)膜厚技術(shù),將LIBS和QCM相結(jié)合,彌補(bǔ)了LIBS定量分析比較困難,QCM不能進(jìn)行物質(zhì)分辨的不足。本發(fā)明能夠在脈沖激光沉積鍍膜過程中,實(shí)時(shí)原位在線測(cè)量薄膜化學(xué)計(jì)量比,不會(huì)對(duì)鍍膜過程有干擾,并且方法簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)。
聲明:
“在線測(cè)量PLD薄膜化學(xué)計(jì)量比及各成分質(zhì)量的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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