本發(fā)明提供了一種MEMS
電化學(xué)地震檢波器敏感電極
芯片及其制造方法,該電極芯片包括一個(gè)支撐基板、在該支撐基板的至少一個(gè)表面依次排列的N層電極層和位于相鄰兩個(gè)電極層之間的N?1層絕緣間隔層,M個(gè)電極層通孔(31)、M個(gè)絕緣間隔層通孔(32)以及M個(gè)支撐基板通孔(33)的位置正對(duì),形成電解質(zhì)溶液的流經(jīng)通道,該敏感電極的所有絕緣間隔層與電極層集成在同一個(gè)硅片上,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,提高了層間對(duì)齊精度,簡(jiǎn)化了加工工藝;絕緣間隔層的厚度可控制為幾微米到上百微米,有利于器件性能的調(diào)整和優(yōu)化,電極層與電解質(zhì)溶液接觸的面積大大增加,提高了單片集成式一體化敏感電極芯片的靈敏度。
聲明:
“MEMS電化學(xué)地震檢波器敏感電極芯片及其制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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