本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光液厚度測量裝置及測量方法?;瘜W(xué)機(jī)械拋光設(shè)備包括拋光頭、轉(zhuǎn)臺、拋光盤和拋光墊。拋光液厚度測量裝置包括距離傳感器,距離傳感器設(shè)置在拋光盤內(nèi)用于測量距離傳感器到拋光頭上的晶圓的距離;距離變送器,距離變送器設(shè)置在轉(zhuǎn)臺內(nèi)且與距離傳感器相連用于將距離傳感器的測量信號轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電信號;處理單元,處理單元與距離變送器相連用于獲取標(biāo)準(zhǔn)電信號以得到拋光頭與拋光墊之間的拋光液厚度。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液厚度測量裝置可以在線測量并得到拋光頭與拋光墊之間的拋光液厚度。本發(fā)明還公開了一種具有所述拋光液厚度測量裝置的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備。
聲明:
“拋光液厚度測量裝置、測量方法和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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