本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相多元沉積產(chǎn)物組分預(yù)測(cè)方法，包括：步驟S1，根據(jù)工藝條件，計(jì)算配分函數(shù)：步驟S2，計(jì)算熱熔和熵；步驟S3，根據(jù)平動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、振動(dòng)及電子配分函數(shù)，計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)生成焓和標(biāo)準(zhǔn)生成吉布斯自由能；步驟S4，根據(jù)化學(xué)平衡原理，即體系總吉布斯自由能最小的數(shù)學(xué)條件，獲得所有產(chǎn)物的平衡產(chǎn)量分布；步驟S5，工藝條件、沉積固相和產(chǎn)率作為輸入數(shù)據(jù)，利用BP算法建立訓(xùn)練模型。步驟S6，建立BP訓(xùn)練模型后，結(jié)合遺傳算法，對(duì)計(jì)算出的結(jié)果進(jìn)行分析，不斷搜索出不同權(quán)重條件下的最高固相產(chǎn)量。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：建立可準(zhǔn)確預(yù)測(cè)沉積理論產(chǎn)物組分的模型，實(shí)現(xiàn)多組分產(chǎn)量最大的優(yōu)化目標(biāo)，加快CVD工業(yè)生產(chǎn)研發(fā)效率和降低其生產(chǎn)成本。