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化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監(jiān)測方法

679 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 06:46:32

本發(fā)明提供一種化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監(jiān)測方法，通過在化學氣相沉積工藝腔室的四周和底部的內壁上分別內嵌一個石英晶震片，將石英晶震片的電極鍍膜層與化學氣相沉積工藝腔室的內部連通；頻率檢測器用以檢測石英晶震片的頻率，并將頻率檢測器所測得的頻率上傳到控制器，所述控制器根據頻率監(jiān)測器所測得的頻率變化實時監(jiān)測化學氣相沉積工藝腔室的內壁堆積膜層的厚度的變化以判斷清洗終點。利用本發(fā)明對清洗終點進行監(jiān)測，所得結果準確無誤，保證了化學氣相沉積工藝腔室的清潔度和產品良率。

聲明：

“化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監(jiān)測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)