本發(fā)明屬于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備防碰撞偵測系統(tǒng)，包括支撐單元和打磨單元；支撐單元包括轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)盤和研磨墊；支撐單元的一側(cè)打磨單元；打磨單元包括轉(zhuǎn)動(dòng)桿、橫桿、電機(jī)和研磨頭；電機(jī)與研磨頭之間設(shè)有圓柱形狀的基板；基板的下端面與研磨頭的上端面之間留有間隙，基板的外圈上設(shè)有距離傳感器；在研磨頭一旁安置距離傳感器，實(shí)時(shí)檢測研磨墊用調(diào)節(jié)器與研磨頭之間的距離，一旦距離傳感器檢測距離小于用戶設(shè)置的安全距離時(shí)，危險(xiǎn)距離信息傳到操控電腦上，操控電腦將信號(hào)反饋給研磨墊用調(diào)節(jié)器的驅(qū)動(dòng)器，電機(jī)停止工作，報(bào)警并對(duì)檢修和清理研磨墊上的金屬碎屑。