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實(shí)時(shí)測量并控制增重速率的化學(xué)氣相沉積裝置及方法

1032   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:47:30
本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置及方法,尤其是涉及一種能夠?qū)崟r(shí)測量并控制多孔碳預(yù)制體增重率和增重速率的化學(xué)氣相沉積裝置及方法,適合于碳/碳復(fù)合材料或者碳/碳化硅復(fù)合材料在化學(xué)氣相沉積過程的增重率和增重速率的檢測,并可對沉積或滲透過程進(jìn)行控制。其特征在于包括一套化學(xué)氣相沉積爐、一套電子地中衡和一套工控機(jī)所構(gòu)成的系統(tǒng)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:(1)能夠?qū)崟r(shí)測量增重率和增重速率;(2)能夠自動(dòng)識別沉積是否完成;(3)節(jié)約時(shí)間提高效率;(4)優(yōu)化化學(xué)氣相沉積工藝參數(shù);(5)依據(jù)沉積速率的變化自動(dòng)識別判斷沉積過程發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)特征,并對供水、供氣、供電、升降溫程序等進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整,達(dá)到智能控制。
聲明:
“實(shí)時(shí)測量并控制增重速率的化學(xué)氣相沉積裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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