本發(fā)明公開了一種用于熱絲化學(xué)氣相沉積襯底表面溫度測(cè)量的裝置，包括氣相沉積系統(tǒng)和用于檢測(cè)襯底溫度的測(cè)溫裝置，所述的氣相沉積系統(tǒng)包括密閉腔室，在密閉腔室的內(nèi)部設(shè)有基片臺(tái)，基片臺(tái)端面用于放置襯底，基片臺(tái)的底部固定用于驅(qū)動(dòng)基片臺(tái)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的另一端從密閉腔室的底部伸出；所述的測(cè)溫裝置為紅外測(cè)溫儀，在密閉腔室的側(cè)壁設(shè)有測(cè)量通道，測(cè)量通道的端部設(shè)有觀察窗，所述紅外測(cè)溫儀的探頭與所述觀察窗對(duì)正。該裝置可用于熱絲化學(xué)氣相沉積過(guò)程中，襯底表面溫度的測(cè)定。通過(guò)采用紅外測(cè)溫的技術(shù)，實(shí)時(shí)無(wú)損的監(jiān)測(cè)該溫度在反應(yīng)過(guò)程中的變化情況。該技術(shù)屬于非接觸式測(cè)量技術(shù)，不會(huì)對(duì)反應(yīng)過(guò)程中基片臺(tái)的其它行為(如旋轉(zhuǎn)、升降等)產(chǎn)生影響。