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電學測試監(jiān)控反饋式化學氣相沉積系統(tǒng)及其應用

822   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:47:33
本發(fā)明公開了一種電學測試監(jiān)控反饋式化學氣相沉積系統(tǒng)及其應用,屬于化學氣相沉積領(lǐng)域。系統(tǒng)包括化學氣相沉積系統(tǒng)和電學測試系統(tǒng),所述化學氣相沉積系統(tǒng)包括高溫爐,所述高溫爐中的爐腔內(nèi)設有穿過高溫爐的三通爐管,所述三通爐管設有上方開口,上方開口處的正下方設置有載樣臺;所述電學測試系統(tǒng)包括通過內(nèi)置導線連接的四探針測試桿和四探針測試儀;所述四探針測試桿與上方開口密封連接。本發(fā)明通過對化學氣相沉積系統(tǒng)爐管的改造,使化學氣相沉積系統(tǒng)與電學測試系統(tǒng)結(jié)合,進而有效的實現(xiàn)了對樣品生長質(zhì)量的實時監(jiān)控以及能夠及時反饋至控制系統(tǒng)以調(diào)節(jié)生長參數(shù),生成原子層級厚度的樣品,靈活性強,成膜效果好,樣品性能高。
聲明:
“電學測試監(jiān)控反饋式化學氣相沉積系統(tǒng)及其應用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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