本發(fā)明提供了一種控片及其制造方法和化學機械研磨缺陷的監(jiān)測方法,通過在基底的上表面上形成圖形化的第一介質(zhì)層,以及至少填滿所述圖形化的第一介質(zhì)層的溝槽的第二介質(zhì)層,以制造出所述控片。將所述控片放置在化學機械研磨機上研磨后進行處理,以去除所述第一介質(zhì)層;然后,掃描經(jīng)過所述處理后的所述控片的表面,以獲得所述控片的上表面的缺陷,以實現(xiàn)對所述化學機械研磨缺陷的監(jiān)測。本發(fā)明提供的控片提高了控片表面上的缺陷與背景的比對度,進而提高光學掃描機臺對化學機械研磨造成的缺陷的抓取率,實現(xiàn)對所述化學機械研磨缺陷的有效監(jiān)控。
聲明:
“控片及其制造方法和化學機械研磨缺陷的監(jiān)測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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