一種等離子體化學(xué)氣相沉積法金剛石涂層的溫度測量裝置,屬于金剛石涂層技術(shù)領(lǐng)域。包括:陰極部分、真空室、
真空泵系統(tǒng)、壓力測控裝置、電源、陰極桿、陰極體、陽極、直流電弧弧柱、制品架、磁場線圈。在拉長的直流電弧弧柱(9)的周圍裝置有一金屬圓環(huán)(14),金屬圓環(huán)(14)和其上焊接的異類金屬導(dǎo)體(15)都具有較大的熱容量;在圓周方向上,金屬圓環(huán)(14)和其上的異類導(dǎo)體(15)間隔90度設(shè)置,保證其對設(shè)備幾何中心的高度對稱性。本實用新型的優(yōu)點在于:利用結(jié)構(gòu)上高度對稱、同時又有較大的熱容量的組合式溫度測量裝置,可克服使用直流電弧等離子體化學(xué)氣相沉積裝置對大量工件進行金剛石涂層時,涂層的沉積溫度難于測量的技術(shù)難題。
聲明:
“等離子體化學(xué)氣相沉積法金剛石涂層的溫度測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)