本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N測(cè)溫裝置及化學(xué)氣相沉積設(shè)備，涉及測(cè)溫技術(shù)領(lǐng)域。測(cè)溫裝置包括水平布置的多級(jí)結(jié)構(gòu)及測(cè)溫元件。多級(jí)結(jié)構(gòu)具有沿其軸向可拆卸連接的多級(jí)套筒，多級(jí)結(jié)構(gòu)沿其軸向具有相對(duì)的第一端以及第二端，第一端為封閉端，任意相鄰的兩級(jí)套筒中，靠近第一端的套筒的內(nèi)徑小于靠近第二端的套筒的內(nèi)徑，靠近第一端的套筒的長(zhǎng)度小于靠近第二端的套筒的長(zhǎng)度；多級(jí)結(jié)構(gòu)的軸向長(zhǎng)度≥800mm，位于第一端的套筒的壁厚＜3mm，測(cè)溫元件可拆卸安裝于多級(jí)結(jié)構(gòu)內(nèi)，測(cè)溫元件用于測(cè)量第一端的端部的溫度。上述多級(jí)結(jié)構(gòu)可提高測(cè)溫裝置的抗自重能力，從而當(dāng)測(cè)溫裝置應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備中進(jìn)行測(cè)溫時(shí)，可減緩第一端在重力方向的偏移程度，提高測(cè)溫的精準(zhǔn)度。