用以減少在例如CVD反應(yīng)器之類的容器中的輻射測(cè)溫偏離誤差的設(shè)備。在一實(shí)施例中,輻射測(cè)溫計(jì)利用焦外遠(yuǎn)心透鏡裝置。焦外遠(yuǎn)心透鏡裝置聚焦于無(wú)限遠(yuǎn)處,但卻被用于捕獲來(lái)自于焦點(diǎn)外之相對(duì)接近之目標(biāo)物(例如在數(shù)米內(nèi))之輻射。捕獲來(lái)自目標(biāo)物之準(zhǔn)直的輻射減少了雜散輻射之貢獻(xiàn)。在另一實(shí)施例中,源自于周圍加熱組件之指定部分之散射輻射,可藉由若干機(jī)制中的一個(gè)而局部地減少,包含減少指定部分之發(fā)射(例如操作溫度)、或者捕獲源自于該指定部分之輻射之一部分或使其偏斜。固定于接近由晶圓載具之中心延伸之軸線并橫跨該指定部分的輻射測(cè)溫計(jì)承受較少的雜散輻射,藉此可提供更可靠之溫度讀數(shù)。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中輻射測(cè)量偏離誤差的縮減” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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