本發(fā)明公開了一種用于單面化學機械平坦化加工動態(tài)感知的監(jiān)測裝置，屬于超精密加工監(jiān)測技術(shù)領(lǐng)域。本監(jiān)測裝置安裝在單面研磨拋光機上，可實現(xiàn)平面光整過程中工件狀態(tài)的在線實時監(jiān)測，其特征在于：包括傳感器單元：包含至少兩種傳感器采集監(jiān)測信號用于聯(lián)合監(jiān)測；信號調(diào)節(jié)單元：對所述采集信號幅值放大、衰減和/或頻譜過濾；數(shù)據(jù)采集單元：對所述信號調(diào)節(jié)單元處理后的模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，并進行數(shù)字濾波、降噪、存儲的數(shù)據(jù)預處理；處理器單元：對所述數(shù)據(jù)采集單元預處理后的數(shù)據(jù)進行模式識別實現(xiàn)工件加工動態(tài)指標的可視化。本發(fā)明設(shè)計的在線實時監(jiān)測裝置具有多傳感、抗干擾、高準確性、適用面廣、成本低、操作方便、智能化水平高等優(yōu)點。