本發(fā)明涉及了一種熱擴(kuò)散法生產(chǎn)穩(wěn)定同位素22Ne、20Ne產(chǎn)品中微量雜質(zhì)的色譜分析方法，其特征在于應(yīng)用關(guān)鍵組分分析數(shù)學(xué)概率理論，結(jié)合同位素分離實(shí)際狀況，采用三點(diǎn)概括法實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性同位素22Ne、20Ne氣體純度的氣相色譜法一次檢測。該方法通過檢測穩(wěn)定同位素22Ne、20Ne產(chǎn)品氣體中氧氣、氮?dú)饧皻錃獾暮縼黹g接實(shí)現(xiàn)對22Ne、20Ne化學(xué)純度的分析。該方法對高純22Ne、20Ne同位素產(chǎn)品氣體純度檢測靈敏度達(dá)到99.99％，產(chǎn)品中H2、O2、N2的雜質(zhì)成分檢測靈敏度達(dá)到3－20ppm級，而進(jìn)樣量為0.5－1.2ml，并且重現(xiàn)性好、速度快、方法簡單方便、便于推廣至穩(wěn)定同位素22Ne、20Ne的生產(chǎn)質(zhì)量控制及激光陀螺制備工藝的工作氣體成分分析中。