本發(fā)明屬于表面化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種在超高真空系統(tǒng)內(nèi)精確氣體進樣、采集的分析裝置。包括氣路裝置、定量給料器裝置、殘余氣體分析儀裝置、激光器及超高真空腔體,其中氣路裝置和定量給料器裝置連接,定量給料器裝置接入超高真空腔體內(nèi),用于給樣品的表面提供吸附氣體;殘余氣體分析儀與銅罩子組合安裝在超高真空腔體上,用于精準探測樣品表面脫附出的氣體;超高真空腔體上有預(yù)留的窗口,激光器發(fā)射的激光通過窗口照射至樣品的表面上進行光化學(xué)反應(yīng)。本發(fā)明易操作,精確度高,可以靈活地在超高真空系統(tǒng)內(nèi)以各種角度轉(zhuǎn)動樣品,結(jié)合外加光照,可進一步探測并分析表面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物。
聲明:
“在超高真空系統(tǒng)內(nèi)精確氣體進樣、采集的分析裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)