本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體是包含(A)二氧化硅微粒和(B1)有機(jī)酸的化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體,其中前述(A)二氧化硅微粒具有下述化學(xué)性質(zhì)。從通過ICP發(fā)光分析法或ICP質(zhì)量分析法進(jìn)行的元素分析和通過離子色譜分離法進(jìn)行的銨離子定量分析測定的鈉、鉀和銨離子的含量滿足:鈉含量:5~500ppm,選自鉀和銨離子的至少一種的含量:100~20000ppm的關(guān)系。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體以及化學(xué)機(jī)械研磨方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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