本發(fā)明涉及半導(dǎo)體
芯片領(lǐng)域,公開了一種用于生化分析的陣列式傳感器集成芯片及其制備方法。通過本發(fā)明創(chuàng)造,一方面在ISFET傳感器中,通過為ISFET場效應(yīng)晶體管配置一個鏡像對稱的REFET場效應(yīng)晶體管,并將兩晶體管的參考電極設(shè)置在對稱中心線上實現(xiàn)共用,可以利用REFET場效應(yīng)晶體管的敏感響應(yīng)結(jié)果作為參照,排除環(huán)境溫度、電場噪聲和其它非樣品溶液因素所帶來的影響,提升ISFET傳感器的穩(wěn)定性,另一方面通過為各個ISFET傳感器提供一個單獨的液體樣品容納孔,可以利用高程孔壁有效阻礙相鄰樣品溶液的流動性,減少出現(xiàn)交叉污染和電噪聲串?dāng)_等情況,進(jìn)而可以有效減小各個ISFET傳感器的測量誤差,確保對生物或化學(xué)物的測量準(zhǔn)確性。
聲明:
“用于生化分析的陣列式傳感器集成芯片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)