本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量分析流水線,它從前至后依次包括
芯片開封機(jī)(3)、清洗機(jī)(4)以及顯微鏡(5),其特征在于芯片開封機(jī)(3)的前方還依次設(shè)置有X-RAY機(jī)(1)以及激光打標(biāo)機(jī)(2)。本實(shí)用新型具有可以較高程度還原產(chǎn)品鍵合狀況,分析周期短,效率高、開封成功率高,化學(xué)藥劑的用量較少,降低環(huán)境污染的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量分析流水線” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)