一種由輻射束引起氣相化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生質(zhì)粒,尤其是納米質(zhì)粒裝置。輻射束包括電磁輻射或激光束。該裝置包括一反應(yīng)室(102)和一導(dǎo)入輻射的窗(242)和狹長(zhǎng)的一反應(yīng)物入口(164)。所說(shuō)的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)與狹長(zhǎng)反應(yīng)物入口相一致,可在反應(yīng)物氣流兩側(cè)引入保護(hù)氣體以惰性氣體罩防止反應(yīng)氣體和產(chǎn)品質(zhì)粒沖擊室壁和光學(xué)部件。該裝置還包括一高溫計(jì)(302)以監(jiān)測(cè)反應(yīng)物的熱發(fā)射,一質(zhì)粒尺寸分析器(400)和一計(jì)算機(jī)(108),有一壓力傳感器(304)的反饋回路可用以維持反應(yīng)室的壓力。
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