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用于監(jiān)測水漬狀缺陷的檢測晶圓及檢測方法

682   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:56:02
一種用于監(jiān)測水漬狀缺陷的檢測晶圓及檢測方法,其中檢測晶圓,包括晶圓;位于晶圓上的介質(zhì)層;位于介質(zhì)層中的若干鎢金屬插塞,鎢金屬插塞的表面與介質(zhì)層的表面齊平。將本發(fā)明的檢測晶圓對某一化學(xué)機械研磨機臺設(shè)備進(jìn)行監(jiān)測時,當(dāng)檢測過程中如果有去離子水濺射到檢測晶圓表面時,去離子水仍為液態(tài),該濺射到檢測晶圓表面的去離子水溶解鎢金屬插塞表面的鎢鹽,經(jīng)過熱板干燥、風(fēng)干或自然干燥后,該去離子水經(jīng)濃縮后在介質(zhì)層區(qū)域形成含有鎢鹽的水漬狀缺陷,通過缺陷檢測設(shè)備可以檢測到該水漬狀缺陷,因而可以很快的判斷該化學(xué)機械研磨機臺是否存在問題,防止將在線產(chǎn)品在存在問題的化學(xué)機械研磨機臺上進(jìn)行相應(yīng)的工藝,防止產(chǎn)生漏電現(xiàn)象或開路現(xiàn)象。
聲明:
“用于監(jiān)測水漬狀缺陷的檢測晶圓及檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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