本發(fā)明公開了一種化學制劑處理系統(tǒng),包括構(gòu)造相同的第一子系統(tǒng)和第二子系統(tǒng)、用于在兩個子系統(tǒng)之間進行切換的第一方向切換閥、第二方向切換閥和第三方向切換閥以及工藝單元和在線化學分析儀。本發(fā)明的系統(tǒng)可以在不需要時間以重新注入化學制劑的情況下利用兩個相同子系統(tǒng)的切換持續(xù)地向工藝單元提供化學制劑;該系統(tǒng)利用在線化學分析儀的幫助,可以循環(huán)再利用在工藝單元中已使用過的化學制劑,降低生產(chǎn)成本;該系統(tǒng)可快速而準確地控制化學制劑的溫度、流量和壓力。