本發(fā)明涉及用于混合至少兩種化學品并將混合物供給至利用該混合物處理基片的基片處理裝置的裝置和方法。該化學品混合和供給裝置包括:至少兩個化學品來源部分;分別連接于化學品來源部分的輸送管線;主輸送管線,其連接于輸送管線,構(gòu)造得用于混合由輸送管線輸送的化學品,并將該混合物輸送至處理裝置;用于檢測分別輸送至輸送管線的化學品流速的檢測器;以及用于比較從檢測器接收到的流速數(shù)據(jù)以控制化學品流速的控制部件。
聲明:
“化學品混合和供給裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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