本發(fā)明涉及半導(dǎo)體行業(yè)中SO
2濃度的檢測(cè)領(lǐng)域,公開一種用于檢測(cè)
半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法,包括:收集待檢測(cè)氣體,將收集后的待檢測(cè)氣體通過四電極
電化學(xué)二氧化硫傳感器依據(jù)預(yù)定的檢測(cè)策略進(jìn)行多次檢測(cè),以獲取多個(gè)氣體濃度檢測(cè)值;根據(jù)多個(gè)氣體濃度檢測(cè)值獲取待檢測(cè)氣體濃度值。這里通過將待檢測(cè)氣體收集至收集袋中,并通過四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器對(duì)待檢測(cè)氣體的濃度進(jìn)行檢測(cè),四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器檢測(cè)精度高,并且為了進(jìn)一步提高檢測(cè)精度,這里依據(jù)設(shè)定的檢測(cè)策略對(duì)待檢測(cè)氣體進(jìn)行多次檢測(cè),并將獲取的待檢測(cè)氣體的檢測(cè)值經(jīng)過一系列的計(jì)算得到最終的待檢測(cè)氣體濃度值。
聲明:
“用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)