本發(fā)明屬于薄膜生長監(jiān)測技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種化學(xué)氣相沉積監(jiān)控系統(tǒng)及方法,薄膜材料放置于化學(xué)氣相沉積裝置內(nèi);光學(xué)成像檢測裝置包括飛秒脈沖激光器、第一柱面透鏡、第一虛擬成像相位陣列、第一衍射光柵、第一顯微物鏡、第二顯微物鏡、第二衍射光柵、第二虛擬成像相位陣列、第二柱面透鏡、單模光纖、光電探測器、高速示波器。本發(fā)明通過光學(xué)成像檢測裝置實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜材料的生長過程,快速、實(shí)時(shí)獲得薄膜材料生長過程信息,通過與樣品數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)進(jìn)行對比,實(shí)時(shí)調(diào)整生長工藝參數(shù)以提高薄膜的生長質(zhì)量。解決了現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)氣相沉積設(shè)備不能做到快速、實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜生長狀態(tài)的問題,達(dá)到了能夠快速、實(shí)時(shí)獲得薄膜材料的生長信息的技術(shù)效果。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積監(jiān)控系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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