本發(fā)明公開了一種
電化學超微組合電極及其制備方法。本發(fā)明采用光刻技術將超微電極圖形轉移至基片上后,再次甩涂光刻膠,以光刻膠直接作為絕緣包封層,曝光將電極尖端部分的光刻膠刻蝕掉,形成微電解槽。此方法制作步驟相對簡單,可一次性大量制備,并保證了電極暴露面積精確可控。制作得到的微電解槽在實驗測試中顯示出高傳質速率、高信噪比、高電流密度等優(yōu)良的電化學特性。電極位置固定,有利于得到重現(xiàn)性良好的結果。電解槽的容積小于1PL,可用于精確地限域并檢測痕量電解液。以上結果都表明此類器件具備很好的微量痕量檢測的能力。
聲明:
“電化學超微組合電極及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)