快速清除殘余反應(yīng)氣體的金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔體,包括:反應(yīng)腔進(jìn)氣口、反應(yīng)腔進(jìn)氣管道、上緩沖腔、下緩沖腔、噴淋口、載片臺(tái)、加熱組件、殘余氣體排放管路、尾氣管路、控制閥、緩沖腔壓力檢測(cè)表、
真空泵,反應(yīng)腔進(jìn)氣管道為多路進(jìn)氣管道,載片臺(tái)的上部設(shè)有反應(yīng)氣體噴淋口。反應(yīng)腔體內(nèi)設(shè)有尾氣管路,緩沖腔內(nèi)設(shè)有殘余氣體排氣管路,殘余氣體排放管路與反應(yīng)腔的尾氣管路通過(guò)接頭匯合成一條管路與抽除尾氣的真空泵相連。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是能夠在氣相沉積反應(yīng)腔體內(nèi)快速清除殘余氣體,利用氣相沉積反應(yīng)腔體的抽氣真空泵和部分尾氣管路來(lái)排放殘余氣體,使得不同外延層薄膜之間的界面陡峭,提高設(shè)備的性能。
聲明:
“快速清除殘余反應(yīng)氣體的金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔體” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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