本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。本實(shí)用新型實(shí)施例所述的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包括依次連通的蒸發(fā)室、裂解室、沉積室、冷阱以及抽真空裝置,并在蒸發(fā)室中設(shè)置壓力檢測(cè)裝置和第一溫度檢測(cè)裝置,通過獲取并控制蒸發(fā)室的壓力和溫度來控制沉積壓力,能夠?qū)崿F(xiàn)控制沉積壓力的即時(shí)性。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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