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聲表面波器件的聲電放大效應檢測裝置及檢測方法

1093 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:57:49

本發(fā)明公開了一種聲表面波器件的聲電放大效應檢測裝置及檢測方法，檢測裝置包括：信號發(fā)生單元產(chǎn)生輸入射頻信號并傳輸至聲表面波器件；氣體腔通入不同化學性質(zhì)的氣體以改變聲表面波器件中氣敏薄膜的載流子濃度；信號檢測單元接收聲表面波器件在與氣體腔中氣體作用下對輸入射頻信號進行放大處理后輸出的輸出射頻信號；以及信號處理單元，其輸入端依次與信號發(fā)生單元的第二輸出端和信號檢測單元的輸出端連接，根據(jù)輸出射頻信號與輸入射頻信號的比值關系來判斷該聲表面波器件是否存在對聲表面波進行放大處理。該檢測裝置通過通入敏感氣體，改變聲表面波器件中氣敏薄膜中載流子的濃度，更好的檢測出聲波面波器件中聲電放大效應。

聲明：

“聲表面波器件的聲電放大效應檢測裝置及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)