本發(fā)明提供一種光波導(dǎo)生物化學(xué)傳感器、制備方法以及基于這種傳感器的光波導(dǎo)特征模式檢測系統(tǒng),光波導(dǎo)生物化學(xué)傳感器包括:棱鏡、一硅基底層,嵌入在所述硅基底層中的多孔硅襯底層和多孔硅光波導(dǎo)層,所述多孔硅光波導(dǎo)層位于所述多孔硅襯底層外層,在所述棱鏡和所述多孔硅光波導(dǎo)層之間設(shè)置有空氣隙。本發(fā)明具有采用多孔硅作為傳感材料,該材料具有表面積高、制備成本低、結(jié)構(gòu)參數(shù)可調(diào)節(jié)性大、響應(yīng)速度快、溫度適應(yīng)性好、目標(biāo)分子兼容性好、測量精度高等特點,是生物化學(xué)傳感的理想材料。
聲明:
“光波導(dǎo)生物化學(xué)傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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