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通用化學機械拋光液

1112   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 06:58:59
一種通用化學機械拋光液，屬于超硬材料超精密加工領域，其成分包含氧化鋯磨料、硅酸鈉分析純試劑、去離子水。室溫下，將磨料氧化鋯、硅酸鈉、分別加入去離子水中，超聲設備中震蕩5分鐘得到化學機械拋光液。所述拋光液中，氧化鋯濃度為0.05～0.09g/ml，粒徑為0.05～0.2μm，所述的硅酸鈉濃度為0.05～0.12g/ml。該化學機械拋光液具有通用性，能夠用于拋光藍寶石晶體，石英、金剛石、硅片、鎢合金材料。相較于傳統拋光液，晶體表面粗糙度降低，無損傷缺陷。且該新型拋光液的成本低廉，無需特殊工藝合成，并且所有組分均不會造成環(huán)境污染。
聲明：
“通用化學機械拋光液” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
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