本發(fā)明公開了一種液滴附壁化學(xué)加工的石英玻璃回轉(zhuǎn)體工件的表面修飾方法,包括:將工件裝夾在主軸上,主軸帶動(dòng)工件繞中心線旋轉(zhuǎn);在管口處產(chǎn)生凸出的腐蝕液滴,液滴與工件表面接觸,控制液滴的半徑保持穩(wěn)定;根據(jù)液滴與工件表面的接觸面積以及工件的加工目標(biāo)表面粗糙度要求,確定工件的相對(duì)線速度下限v;由相對(duì)線速度下限v以及工件的回轉(zhuǎn)半徑確定主軸轉(zhuǎn)速下限N;控制主軸的轉(zhuǎn)速≥N,并控制液滴中心點(diǎn)相對(duì)運(yùn)動(dòng)對(duì)工件表面進(jìn)行加工,且液滴中心與工件表面的距離保持不變;檢測管口處的液滴的流量信號(hào)變化,若超過閾值,視為完成對(duì)工件的表面修飾。采用該方法可得無微裂紋、無變質(zhì)層、表面光滑的石英玻璃回轉(zhuǎn)體工件,且操作簡便,可控性好。
聲明:
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