本實(shí)用新型公開了一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，包括反應(yīng)箱及噴淋頭，反應(yīng)箱上端設(shè)置有噴淋頭；反應(yīng)箱內(nèi)設(shè)置有反應(yīng)腔，反應(yīng)腔底端設(shè)置有反應(yīng)平臺(tái)，反應(yīng)平臺(tái)上端設(shè)置有反光層；噴淋頭包括上蓋及孔板，孔板上均布有多個(gè)向反應(yīng)腔內(nèi)輸送氣態(tài)原材料的小孔，上蓋頂部設(shè)置有多個(gè)與小孔對(duì)應(yīng)的窗口，上蓋上設(shè)置有多個(gè)激光發(fā)生與接收裝置，激光發(fā)生與接收裝置上設(shè)置有蜂鳴器，蜂鳴器與激光發(fā)生與接收裝置電連接；反應(yīng)箱底部設(shè)置有電機(jī)，電機(jī)上端與轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)軸上端設(shè)置有單臂旋轉(zhuǎn)桿，單臂旋轉(zhuǎn)桿上端設(shè)置有毛刷。本新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，能實(shí)時(shí)檢測(cè)噴淋頭中小孔的通堵狀況，及時(shí)快捷方便地清理噴淋頭，節(jié)省人力成本，提高工作效率。