本發(fā)明公開了一種用于動(dòng)態(tài)調(diào)整化學(xué)機(jī)械拋光速率的方法,包括下列步驟:收集特定歷史時(shí)間段內(nèi)的拋光數(shù)據(jù),所述數(shù)據(jù)包括該時(shí)間段內(nèi)多次測(cè)量的線下拋光速率,以及該時(shí)間段開始時(shí)的拋光速率結(jié)束時(shí)的拋光速率;根據(jù)這些歷史數(shù)據(jù)計(jì)算每次拋光的拋光厚度調(diào)整量,從而將化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中損耗部件的損耗情況進(jìn)行評(píng)估并及時(shí)反饋,從而及時(shí)調(diào)整化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光速率,以便使得化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備可以始終以恒定的拋光速率進(jìn)行工作,從而減小停機(jī)維護(hù)的頻率,提高工作效率。
聲明:
“用于動(dòng)態(tài)調(diào)整化學(xué)機(jī)械拋光速率的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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