提供一種感應(yīng)化學(xué)液體泄漏的裝置和方法。用于感應(yīng)化學(xué)液體泄漏的裝置包括測(cè)量提供到處理室的化學(xué)液體流速的感應(yīng)單元、使用測(cè)定的化學(xué)液體流速來(lái)判斷是否發(fā)生化學(xué)液體泄漏并且產(chǎn)生控制信號(hào)的過(guò)程控制單元、和接收控制信號(hào)的輸入并控制設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備控制單元。
聲明:
“感應(yīng)化學(xué)液體泄漏的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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