本公開一些實施例中提供一種化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)?;瘜W(xué)機械平坦化系統(tǒng)包括一墊、一平臺、一泵以及一感測器。墊包括一第一側(cè)以及與第一側(cè)相對的一第二側(cè),其中第一側(cè)是配置以在一化學(xué)機械平坦化制程期間接收一晶圓。平臺沿著第二側(cè)相鄰于墊,其中平臺包括一抽吸開口,且抽吸開口與第二側(cè)接合。泵被配置以在抽吸開口處產(chǎn)生吸力,以將第二側(cè)附著至平臺。感測器是配置以收集一感測器數(shù)據(jù),且感測器數(shù)據(jù)表征墊以及平臺之間的一附著均勻性,其中泵是配置以基于感測器數(shù)據(jù),在抽吸開口處產(chǎn)生吸力。本公開還涉及一種化學(xué)機械平坦化方法。
聲明:
“化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)以及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)