亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)以及方法

化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)以及方法

848   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:49
本公開一些實施例中提供一種化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)?;瘜W(xué)機械平坦化系統(tǒng)包括一墊、一平臺、一泵以及一感測器。墊包括一第一側(cè)以及與第一側(cè)相對的一第二側(cè),其中第一側(cè)是配置以在一化學(xué)機械平坦化制程期間接收一晶圓。平臺沿著第二側(cè)相鄰于墊,其中平臺包括一抽吸開口,且抽吸開口與第二側(cè)接合。泵被配置以在抽吸開口處產(chǎn)生吸力,以將第二側(cè)附著至平臺。感測器是配置以收集一感測器數(shù)據(jù),且感測器數(shù)據(jù)表征墊以及平臺之間的一附著均勻性,其中泵是配置以基于感測器數(shù)據(jù),在抽吸開口處產(chǎn)生吸力。本公開還涉及一種化學(xué)機械平坦化方法。
聲明:
“化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)以及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記