一種化學品分配系統(tǒng)能夠通過使用獨立的化學品供應管線同時供應用于生產(chǎn)及測試的半導體處理化學品,這會減少相關聯(lián)半導體工藝的生產(chǎn)停工時間,增加半導體工藝的生產(chǎn)量及能力,和/或類似情況。此外,同時供應用于生產(chǎn)及測試的半導體處理化學品的能力允許在對生產(chǎn)的沖擊最小的情況下增加要測試的半導體處理化學品批次的數(shù)量,這會增加對半導體處理化學品的品質(zhì)控制。此外,獨立的化學品供應管線可用于在通過過濾回路獨立地過濾直接來自存儲筒的半導體處理化學品的同時為生產(chǎn)供應半導體處理化學品。
聲明:
“化學品分配系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)