本公開提供一種化學(xué)清洗液配置系統(tǒng)和方法。化學(xué)清洗液配置系統(tǒng)設(shè)置在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備內(nèi),包括:第一混合系統(tǒng),被配置為將第一化學(xué)溶液和第一稀釋液混合,得到第一混合液;第二混合系統(tǒng),被配置為第二化學(xué)溶液和第二稀釋液混合,得到第二混合液;第三混合系統(tǒng),被配置為將所述第一混合液、所述第二混合液和第三稀釋液混合,得到第三混合液;輸出系統(tǒng),被配置為輸出所述第三混合液至所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的噴淋裝置;采樣系統(tǒng),被配置為采樣所述輸出系統(tǒng)中輸出的所述第三混合液,其中所述采樣系統(tǒng)為與所述輸出系統(tǒng)相連通的支路系統(tǒng);監(jiān)測(cè)系統(tǒng),被配置為監(jiān)測(cè)所述第一混合液、所述第二混合液,以及所述第三混合液的狀態(tài)。
聲明:
“化學(xué)清洗液配置系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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