一種監(jiān)控電子顯微鏡化學(xué)油污污染的方法,包括:建立短流程工藝,短流程工藝至少包括依次執(zhí)行的金屬阻擋層生長(zhǎng)步驟、金屬填充步驟以及金屬平坦化步驟;在電子顯微鏡進(jìn)行添加潤(rùn)滑油之后,選用短流程硅片,對(duì)剛好執(zhí)行完金屬阻擋層生長(zhǎng)步驟后的硅片進(jìn)行缺陷觀察動(dòng)作;將被觀察的硅片按照所建立的短流程工藝流片到執(zhí)行完金屬平坦化步驟;在金屬平坦化步驟后對(duì)硅片進(jìn)行缺陷檢查以確定被觀察的硅片是否存在金屬損傷缺陷。如果被觀察的硅片不存在金屬損傷缺陷,確定不存在電子顯微鏡化學(xué)油污污染。如果被觀察的硅片不存在金屬損傷缺陷,確定不存在電子顯微鏡化學(xué)油污污染。本發(fā)明可監(jiān)控電子顯微鏡是否受到化學(xué)物污染,避免污染在線產(chǎn)品,為良率提供保障。
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