采用定向晶?？刂频?a href="http://www.189000b.com/meet_show-181.html" target="_blank">電化學(xué)機(jī)械拋光工件的預(yù)處理方法。本發(fā)明涉及金屬超精密加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及電化學(xué)機(jī)械拋光前的工件定向晶?？刂祁A(yù)處理方法。本發(fā)明的預(yù)處理方法包括：a、在不同晶粒尺寸的金屬工件上進(jìn)行電化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)驗(yàn)，獲得晶粒尺寸與材料去除率的關(guān)系；b、測(cè)量待加工金屬毛坯工件的初始面型誤差；c、基于a、b兩個(gè)步驟測(cè)量的待加工金屬毛坯面型誤差特征、晶粒尺寸與材料去除率的關(guān)系和最終面型要求，設(shè)計(jì)電化學(xué)機(jī)械拋光材料去除率及晶粒尺寸分布；d、采用塑性成形及熱處理的方法獲得定向控制晶粒尺寸分布的工件。本發(fā)明的技術(shù)方案解決了現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)ECMP加工方式因邊緣效應(yīng)而使得工件產(chǎn)生“塌邊”現(xiàn)象等面型誤差的問(wèn)題。