本發(fā)明公開(kāi)了用于化學(xué)氣相沉積過(guò)程的裝置和方法。一種用于化學(xué)氣相沉積過(guò)程的裝置,包括:傳感器,被配置成在所述化學(xué)氣相沉積過(guò)程中感測(cè)工藝參數(shù);數(shù)據(jù)庫(kù),被配置成存儲(chǔ)與所述化學(xué)氣相沉積過(guò)程相關(guān)的工藝參數(shù)以及對(duì)應(yīng)的薄膜特性;以及處理裝置,被配置成根據(jù)薄膜特性的目標(biāo)值以及數(shù)據(jù)庫(kù)中與感測(cè)的工藝參數(shù)對(duì)應(yīng)的薄膜特性,確定所述化學(xué)氣相沉積過(guò)程中的所述工藝參數(shù)的調(diào)整值。
聲明:
“用于化學(xué)氣相沉積過(guò)程的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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