一種化學氣相沉積法制備的多層
石墨烯層數(shù)的確定方法,包括:在復合硅襯底上采用化學氣相沉積法制備多層石墨烯樣品或?qū)⒉捎没瘜W氣相沉積法制備在非復合硅襯底上的多層石墨烯樣品轉(zhuǎn)移到復合硅襯底上;通過拉曼光譜對比確定化學氣相沉積生長的多層石墨烯樣品中的單層石墨烯區(qū);分別測量化學氣相沉積生長的多層石墨烯區(qū)和單層石墨烯區(qū)的反射光譜,得到兩者的光學對比度實驗值;計算多層石墨烯樣品和單層石墨烯的光學對比度理論值;將光學對比度實驗值與光學對比度理論值對比,確定多層石墨烯樣品的層數(shù)。該適用于6層以內(nèi)多層石墨烯樣品的層數(shù)表征,準確度高,測試方法簡單,適用于襯底表面已經(jīng)大部分被化學氣相沉積生長的單層石墨烯覆蓋的情況。
聲明:
“化學氣相沉積法制備的多層石墨烯層數(shù)的確定方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)