本發(fā)明涉及一種雙腔交替式非晶硅
光伏薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備,是非晶硅薄膜
太陽能電池的規(guī)?;a(chǎn)中一種核心工藝設(shè)備,所述雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括真空鍍膜機。該真空鍍膜機設(shè)有兩個真空腔體,每個真空腔體設(shè)有一到多個電極盒,每個電極盒可放置多片玻璃,所述兩個真空腔體共用真空獲得/壓力測量系統(tǒng),工藝氣體/流量控制系統(tǒng),射頻電源/匹配器系統(tǒng),并通過中心控制系統(tǒng)在時間上控制兩真空腔體的化學(xué)氣相沉積為交替工作過程,該設(shè)備大幅度地提高了非晶硅薄膜太陽能電池量產(chǎn)過程中的設(shè)備可靠性,提高了該高質(zhì)量低速沉積工藝技術(shù)的產(chǎn)量,能夠有效降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)